Der Transducer in der Megasonic Düse erzeugt eine Megasonic-Welle, die über ein fließendes Medium (z.B.: DI-Wasser) auf eine Substratoberfläche übertragen wird. Die Megasonic-Energie wird auf einen schmalen Punkt von 2 mm oder 4 mm konzentriert.
SONOSYS Megasonic Düsen sind in den Frequenzen Neu: 600 kHz / 1 MHz / 2 MHz / 3 MHz und 4 MHz als Single- oder Dual-Version verfügbar.

Dieses Megasonic Düsen-System ermöglicht einen kontaktlosen Reinigungsprozess mit stets partikelfreiem Reinigungsmedium.

Anwendung:
Reinigung von Single Wafern, Masken, LCD's, Substraten und Mikroteilen (MEMS), sowie gröbere Partikel mit 600 kHz in der optischen Industrie, Medizintechnik und Sensorik.