Weltweit einzigartig

Der Transducer in der Megasonic Schlitz-Düse erzeugt eine Megasonic-Welle,
die über ein fließendes Medium (z.B.: DI-Wasser) auf eine Substratoberfläche übertragen wird. Die Megasonic-Energie wird auf einen schmalen Streifen von 1,8 mm Breite und einer Länge von 405, 670, 1.330 mm oder einer kundenspezifischen Abmessung konzentriert.
Dieses Megasonic Schlitz-Düsen-System ermöglicht ein kontaktloses Reinigen empfindlichster Oberflächen mit stets partikelfreiem Reinigungsmedium.

Anwendung:
Reinigung von Substraten für Flat Panel Displays und Masken (Generation 5).