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Microstreaming
Microclean - Partikelfrei - SONOSYS®
| Die durch Megasonic-Energie erzeugte Kavitation und Mikroströmung ermöglichen in Verbindung mit chemischen Reaktionen das Ablösen von Partikeln bis in den Nano-Bereich von empfindlichen Substratoberflächen und aus Gräben von Mikrostrukturen. |  |