Ein entscheidender Vorteil beim Einsatz von Megasonic ist die schonende Reinigung von äußerst empfindlichen Strukturen. In der linken Abbildung wird deutlich, dass durch die hohe Kavitationsenergie
bei 40 kHz Ultraschallfrequenz die Mikrostruktur zerstört wurde. Die zerstörten Stege haben eine Stärke von ca. 4 µm. Bei einer Ultraschallfrequenz von 1 MHz bleibt die Mikrostruktur unbeschädigt (rechte Abb.).

Zerstörte fragile Mikrostruktur ca. 200 µm hoch entwickelt bei einer Frequenz von 40 kHz	Unbeschädigte fragile Mikrostruktur 400 µm hoch entwicklet bei einer Frequenz von 1 MHz
Entwickelte Mikrostruktur ohne Megasonic Unterstützung	Entwickelte Mikrostruktur mit Megasonic Unterstützung